前言：

净化车间（洁净室）与中心空调厂一般生产区的温湿度要求的差异，不仅要满足生产者（员工）的舒适度，还需要考虑到生产工艺和产品特性的要求。

不同的生产工艺对生产环境有不同的要求。随着行业对生产工艺（环境）的升级车间净化，对洁净度、温度和湿度的要求也越来越高。

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以下示例是我们常见应用中无尘车间的温湿度要求：

示例 1（电子行业制造）

电子制造领域生产区域最重要的环节是防静电，会对电子产品产生不良影响，降低产品的产量，造成产品短路，甚至造成员工昏倒出传导。因此，电子行业净化车间的相对湿度不应低于30%。为减少静电的产生，净化车间抗静电区的相对湿度不应低于50%。在特殊要求的情况下，温度控制在23±2℃左右，相对湿度控制在55±5%RH。在这种生产环境中，人感觉舒适，静电消失。

示例 2（大规模集成电路）

在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，要求玻璃与作为掩膜材料的硅片的热膨胀系数差异越来越小。对于直径为100um的硅片，温度升高1度会引起0.24um的线膨胀，所以必须有±0.1度的恒定温度，湿度值一般较低，因为经过一个人出汗，产品会受到影响。污染，尤其是怕钠的半导体车间，这种无尘车间温度不能超过25℃。湿度过高会导致更多问题。当相对湿度超过55%RH时，冷却水管壁会出现凝露。如果发生在精密设备或电路中，会引起各种事故。相对湿度50%RH时容易生锈。

示例 3（生物制药）

温度是影响制剂在外部环境中稳定性的重要因素之一。一般来说，随着温度的升高，药物的降解率增加，温度的变化对制剂的稳定性影响较大，尤其是对热非常敏感的生物制品。因此，制药生产车间不仅要严格控制室内温度范围，还要保证温度波动尽可能小。相对湿度也是影响制剂稳定性的重要因素。对于固体制剂，空气中的水分会在表面形成一层薄膜，成为分解反应的条件，降解反应的速度与环境的相对湿度成正比。此外，相对湿度对药品生产的重要性还体现在，当相对湿度在60%以上时，生产环境容易发霉和污染药品。当相对湿度在60%以上时，药物会滋生霉菌。高低，药基本都要长霉了。

药品生产车间的温湿度要求

洁净区（无菌环境）：温度20-24℃，相对湿度45-60%RH；

控制区（无菌环境）：温度18-26℃，相对湿度50-65%RH。

示例 4（SMT 表面贴装）

SMT贴装车间对温度和湿度有明确的要求。首先主要是让锡膏在更好的环境下工作。温度会影响锡膏的活性，活性内加入的助焊剂的相对溶剂有一定的影响。高温会增加其活性，最终影响丝印和回流的效果。容易出现虚焊、焊点无光泽等现象。湿度水平会导致焊膏吸收空气中的水分。如果吸收了过多的水分车间净化，会在回流过程中造成空空、渐飞、连续焊锡等现象。因此，SMT恒温恒湿车间的温湿度标准：温度：24±2℃ 湿度：50±10%。

净化车间不都是设计成恒温恒湿净化车间吗？空调系统的温度和湿度必须根据生产工艺的要求进行设计。

例5（食品工业和保健食品）

食品/保健品车间对生产清洁度的要求比较高，一般为10万、1万。有的行业要求1000/100以上，但同时车间的湿度越低，越容易滋生细菌和细菌。而其他生物污染（霉菌、病毒、真菌、螨虫）可以在相对湿度超过60%的环境中活跃繁殖。当相对湿度超过 30% 时，一些植物群会生长。当相对湿度在 40% 到 60% 的范围内时，可以将细菌和呼吸道感染的影响降到最低。如果湿度过高，产品会变质。同时，温度不宜过高。如果温度过高，生产者会在出汗后接触到产品，从而污染产品并降低产品的质量/产量。

结合公共区域，可以得出温湿度对净化车间的影响如下：

1、细菌生长； 2、个人舒适度； 3、出现静电荷； 4、金属腐蚀； 5、水蒸气凝结； 6、光刻退化； 7、吸水率。

以净化车间的温度为一般原则，加工精度越来越精细，对温度波动范围的要求越来越小。因此，无尘车间的温湿度控制是由其生产工艺决定的，但其精度还取决于房间的大小，如测量室、光栅分划室、精密仪器制造和装配车间等。等。前两个是小房间，对空调精度要求高（这里主要指温度和湿度）；后两者是较大的生产车间，对温湿度精度要求较低。因此，房间的大小也将决定恒温恒湿车间的精度。